國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,漠潤(無錫)新材料有限公司;漠潤(無錫)陶瓷材料有限公司申請一項(xiàng)名為“一種晶圓加工用清洗機(jī)”的專利,公開號CN121237692A,申請日期為2025年9月。專利摘要顯示,本發(fā)明涉及晶圓加工領(lǐng)域,具體是一種晶圓加工用清洗機(jī),包括安裝框架,還包括:清洗箱,清洗箱側(cè)壁上開設(shè)有滑動凹口;兆聲清洗機(jī)構(gòu),兆聲清洗機(jī)構(gòu)包括加液管,加液管上設(shè)置清洗管,清洗管與兆聲清洗頭連接;還包括往復(fù)驅(qū)動組件,往復(fù)驅(qū)動組件置于清洗箱上,轉(zhuǎn)動夾持機(jī)構(gòu),轉(zhuǎn)動夾持機(jī)構(gòu)包括固定框,固定框上設(shè)置有往復(fù)移動板,往復(fù)移動板底部設(shè)置有第二齒條板;還包括第二安裝框,第二安裝框上開設(shè)連接凹口,連接凹口上滑動外齒輪,外齒輪與第二齒條板嚙合連接;外齒輪內(nèi)部通過彈性夾持組件與晶圓本體連接;兆聲清洗頭置于晶圓本體的兩側(cè),本發(fā)